大学物理演示实验中辉光放电等离子体浅析

刘巍

《文渊(高中版)》 2020年03期

皖西学院

辉光放电现象是大学物理演示实验中重要的教学设备，辉光放电过程中产生的等离子体广泛应用于半导体生产、材料处理和医学治疗等领域。本文针对我校大学物理演示实验中的射频辉光放电等离子体建立两种模型：二维轴对称模型和二维全模型，分析等离子体中Ar+、H+、H2+、H3+四种离子的离子能量分布和离子角度分布演化特性。计算结果发现二维全模型更适合探究等离子体中电子密度和离子特性，为后续开展相关科研实践教学方案设计奠定了一定的理论基础。

物理演示；辉光放电;等离子