SOI硅压阻式压力敏感芯体填充硅油含气量影响分析

乔鑫

《文渊(高中版)》 2021年10期

中国电子科技集团公司第四十九研究所

在SOI硅压阻式压力敏感芯体生产过程中，如工序控制不当引入空气，会对敏感芯体压力传递造成影响。为了研究具体影响情况，文章以敏感芯体为研究对象，概述了其结构，分析了填充硅油含气量对压力敏感芯体输出的影响机理，以供参考。

SOI硅压阻式压力敏感芯体；硅油；含气量；输出；影响