半导体厂房洁净室空调系统施工技术与管理

朱佳富 高传博 黄泽

《城镇建设》 2025年01期

中国电子系统工程第二建设有限公司

半导体厂房洁净室空调系统的施工技术与管理是确保生产环境符合严格工艺要求的关键因素。本论文从系统设计、施工技术、质量控制和管理策略等方面展开，探讨了如何优化洁净室空调系统的建设，以提高半导体生产效率和产品质量。通过分析实际案例和施工过程中的常见问题，提出了一系列改进措施和管理方法，期望可以为同行提供参考和借鉴。

半导体厂房；洁净室；空调系统；施工技术；管理策略