KrF光刻胶中三辛胺的方法探究

韩寿勇

Wen Yuan (Middle School Edition) 2022 No.11

国科天骥（山东）新材料有限责任公司

建立气相色谱仪测定KrF光刻胶中三辛胺添加量的快速分析方法。光刻胶中的三辛胺经无水乙醚提取，氮吹后用无水乙醇定容，毛细管色谱柱分离。气相色谱—火焰光度检测器测定，外标法定量，待测物的回收率>95%，相对标准偏差<5%。该方法只需要简单的处理方式，无须进行复杂的前处理技术，即可实现光刻胶中三辛胺的快速分析。且该方法重现性好，精密度高，简单经济便捷，适用于KrF光刻胶中三辛胺的含量的测定。

三辛胺；光刻胶；气相色谱；外标法