基于IPD工艺的无反射带阻滤波器

Author(s)：

张俊杰　林立涵　杨亮

Publication Title：

Wen Yuan (Primary School Edition) 2022 No.02

Affiliations：

中国电科 13 所

Abstract：

随着社会经济的快速发展与科学技术的日益进步，对射频系统也提出了越来越高的要求。而滤波器作为射频前端的重要组成部分，其性能、尺寸以及功能性等，将成为评判其好坏的重要参考依据。传统滤波器的工作方式，主要是无损耗或是低损耗，通过带内传输信号，并将带外信号反射至信号源。但是，由于反射回信号源的信号可能会导致出现增益波动等情况，对系统性能产生不良影响，而通过使用无反射带阻滤波器，这些反射信号将会被内部有耗元件所吸收，从而有效提升系统的线性度。采用IPD工艺制作的器件，既能有着更小的寄生参数，以及更高的可靠性，还能利用高频应用，以此来符合无反射带阻滤波器对工艺精度的要求。

Keywords：

IPD工艺；无反射带阻滤波器；无源器件

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